اینکه آیا گاز کمکی برای برش لیزری نیترید سیلیکون (Si3N4) مورد نیاز است به چگالی و ضخامت مواد بستگی دارد.
1. سناریوهای کاربردی
---- متخلخل، با چگالی کم Si3N4 (8 میلی متر): می توان با لیزر QCW 1 کیلو وات (پیک 3 کیلووات) با استفاده از هوا و پارامترهای تخصصی برش داد. کیفیت قابل قبول است
----Si₃N4 متراکم و فشرده (۸ میلیمتر): حتی با لیزر پیک ۱۰ کیلووات، کمک نیتروژن توصیه میشود. باید از هوا پرهیز کرد.
2. اصول کلیدی
برای Si3N4 ضخامت 8 میلی متر، برش لیزری شامل فرسایش حرارتی و تبدیل به گاز است. گاز کمکی سه نقش اساسی دارد:
----حذف باقیمانده مذاب/تبخیر شده: دمای بالا سی و SiO2 مذاب تولید می کند. بدون گاز، کرف مسدود می شود و باعث بریدگی یا بریدگی ناقص می شود.
----خنک کردن و جلوگیری از ترک خوردن: تخته های ضخیم استرس حرارتی بالایی را جمع می کنند. گاز گرما را می برد و از شکستگی و بریدگی لبه جلوگیری می کند.
---- برای جلوگیری از اکسید شدن اکسیژن را حذف کنید: هوا یا O2 یک لایه اکسید تشکیل می دهد، برش را سیاه می کند، زبری را افزایش می دهد و استحکام را کاهش می دهد.
3. کمک به انتخاب گاز
----نیتروژن با خلوص بالا (N2، 99.99%): رایج ترین و مقرون به صرفه ترین. از اکسیداسیون جلوگیری می کند، زباله ها را از بین می برد، خنک می کند و برش تمیزی به جا می گذارد. فشار: 0.6-0.8 مگاپاسکال. مناسب برای گیره ها، گیره های موقعیت یابی، قطعات پیچیده، نیمه هادی ها و قطعات NEV.
----آرگون با خلوص بالا (Ar، 99.999%): منطقه خنثی، کوچکتر تحت تأثیر حرارت، برشهای بسیار صاف با بریدگی تقریباً صفر. ایده آل برای زیرلایه های خودرویی و با دقت بالا اما پرهزینه.
----هوا یا O2 ممنوع: باعث بریدگی سیاه، بریدگی، بریدگی شدید می شود. برای سرامیک های دقیق غیر قابل قبول است.
4. پارامترهای عملی
----نوع لیزر: لیزر فیبر / پیکوثانیه UV
----گاز کمکی: N2 با خلوص بالا، 0.7 مگاپاسکال
----قدرت: لیزر فیبر 500-1000 وات
----روش برش: برش حلقه ای لایه ای، 3-4 پاس برای جلوگیری از ترک خوردگی
---- فوکوس: فوکوس منفی (زیر سطح مواد) یکنواختی را تضمین می کند
YCLaser پردازش لیزری را برای مواد مختلف سخت و شکننده، از جمله نمونه برداری رایگان و بهینه سازی فرآیند، فراهم می کند.برای یک راه حل سفارشی با ما تماس بگیرید.
